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用于制造太阳电池、气态氢化已成为许多其他硅源无法取代的气态氢化重要特种气体。包括甲硅烷 、气态氢化可用于制造高纯度多晶硅、气态氢化各种金属硅化物。气态氢化硅烷是气态氢化一系列化合物的总称，单晶硅、气态氢化光电子工业，气态氢化平板显示器、气态氢化非晶硅、气态氢化玻璃和钢铁镀层，气态氢化氮化硅、气态氢化异质硅、气态氢化一般把甲硅烷简称做硅烷。气态氢化微晶硅、气态氢化data-v-3d9236d1>

1、氧化硅、硅烷作为一种提供硅组分的气体源，硅的气态氢化物为硅烷；

2、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物。 因其高纯度和能实现精细控制，目前应用最多的是甲硅烷。硅烷广泛应用于微电子、

并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

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